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清华大学涂胶显影机公开招标公告

时间:2022-08-27 15:10:35 作者:爱游戏官方下载 来源:爱游戏电竞APP

详细说明

  清华大学涂胶显影机 招标项目的潜在投标人应在登记报名网址:获取招标文件,并于2022年09月07日 10点30分(北京时间)前递交投标文件。

  涂胶显影机包含:涂胶显影机(MEMS用)、涂胶显影机(先进集成用),以及晶圆键合模块的涂胶机(临时键合用)3台设备。涂胶显影机(MEMS用、先进集成用)主要用于光刻胶的涂敷与曝光后显影工艺,是配合光刻机完成图形化的必需设备;涂胶机(临时键合用)主要用于临时键合工艺的键合胶涂敷,是临时键合的必需设备。

  2)涂胶及显影单元晶圆旋转速度:100 rpm~5000 rpm,连续可调;

  3)滴胶精度:滴胶量误差范围不大于-0.1 ml~0.1 ml(在1 ml~8 ml的滴胶量范围内),针筒式供胶除外;

  2)涂胶及显影单元晶圆旋转速度:100 rpm~5000 rpm,连续可调;

  3.本项目的特定资格要求: 1)在中华人民共和国境内注册; 2)符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件; 3)通过“信用中国”网站()和中国政府采购网()查询信用记录(截止时点为投标截止时间),被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商,没有资格参加本项目的采购活动; 4)不接受联合体投标; 5)单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得同时参加同一包号的政府采购活动; 6)为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加该包的其他采购活动; 7)必须在线登记获取招标文件,否则没有资格投标。

  地点:北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第一评标室(清华大学东南门东侧,无须办理入校手续)。

  联系方式:李美珍,62785713;肖天鹏,62780052(技术咨询)

相关信息

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